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普通透射电镜由照明系统、成像系统、真空系统、记录系统、电源系统5部分构成。主体部分是电子透镜和显像记录系统,由置于真空中的电子枪、聚光镜、物样室、物镜、衍射镜、中间镜、投影镜、荧光屏和照相机。
透射电镜是指透射电子显微镜。是把经加速和聚集的电子束投射到非常薄的样品上,电子与样品中的原子碰撞而改变方向,从而产生立体角散射。散射角的大小与样品的密度、厚度相关,因此可以形成明暗不同的影像,影像将在放大、聚焦后在成像器件(如荧光屏、胶片、以及感光耦合组件)上显示出来。
透射电镜的结构:
照明系统:包括电子枪和聚光镜2个主要部件,它的功用主要在于向样品及成像系统提供亮度足够的光源,电子束流,对它的要求是输出的电子束波长单一稳定,亮度均匀一致,调整方便,像散小。
成像系统:主要由物镜、中间镜和投影镜组成。物镜是用来形成第一幅高分辨率电子显微图像或电子衍射花样的透镜。透射电子显微镜分辨本领的高低主要取决于物镜。因为物镜的任何缺陷都被成像系统中其它透镜进一步放大。欲获得物镜的高分辨率,必须尽可能降低像差。通常采用强激磁,短焦距的物镜。
真空系统:电镜镜筒内的电子束通道对真空度要求很高,电镜工作必须保持在10-3~10Pa以上的真空度(高性能的电镜对真空度的要求更达10Pa以上),因为镜筒中的残留气体分子如果与高速电子碰撞,就会产生电离放电和散射电子,从而引起电子束不稳定,增加像差,污染样品,并且残留气体将加速高热灯丝的氧化,缩短灯丝寿命。获得高真空是由各种真空泵来共同配合抽取的。
记录系统:观察和记录系统包括荧光屏和照相机构。荧光屏涂有在暗室操作条件下,人眼较敏感、发绿光的荧光物质,有利于高放大倍数、低亮度图像的聚集和观察。
电源系统:电源系统有电子枪电源,控制线路电源和透镜电源,提供电源。真空系统的作用是让镜筒维持真空度,使电子枪俩端电极处于真空状态,防止俩级中气体分子与电子接触改变电子运动轨迹,防止样品污染。
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