N6RF制程是6纳米。台积电首次推出6纳米RF(N6RF)制程，将先进的6纳米逻辑制程所具备的功耗、效能、面积优势带入到5G射频(RF)与WiFi6/6e解决方案，较前一代的16纳米射频技术，N6RF电晶体的效能提升超过16%。

台积电表示，N6RF制程针对6GHz以下及毫米波频段的5G射频收发器提供大幅降低的功耗和面积，同时兼顾效能、功能与电池寿命。

三星6nm在7nm EUV基础上，运用其Smart Scaling技术，缩小芯片面积并降低了功耗。该公司于2019 年初宣布第一个基于EUV技术的6nm芯片开始流片，之后，三星还推出了6nm LPE版本。

制程专指事物运作程序的处理过程。常指计算机芯片框架的运算速度量。指的是接受输入将它处理而转变成为输出的活动。过程，是对整个生产流程的管理是制程人员最重要的能力。中国人原先都叫工艺，业务流程重组(business process reengineering)， ISO9000中的过程, 和生产中所讲的工艺和制程, 在英文中都叫process。